已经不代理NILT旗下产品，请联系其他代理商
丹麦NIL TECHNOLOGY Aps
(NILT) 公司除了提供纳米压印机外，还供应各类材质，各类功能的纳米压印模板，模片和母模，是目前重要的纳米压印模板的世界级供应商之一。其涉及的应用十分广泛，包括光电相关的如折射膜、增光膜、抗反射膜，线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM等。
其中纳米压印模板根据材质的不同分为硅质模板 (Silicon NIL Stamps)，石英 QUARTZ 模板 (Fused Silica NIL Stamps)，镍模片 (Nickel SHIM)，聚合物模板 (Polymer NIL Stamps)，PDMS 掩膜 (PDMS NIL Stamps)
NILT米压印模板可以根据客户要求，设计出符合需求的纳米/微米图形，其母模的制造通常会用电子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY，激光干涉蚀刻法几种工艺来制造。NILT能够为石英或硅晶圆模板为母模，并从中中复制出聚合物、镍、PDMS材质的模片，模板一般以硅晶圆或切割成方块交货给客户作为托底。
NILT硅质模板 (SILICON NIL STAMPS)
丹麦NILT是目前重要硅模板的顶级供应商之一，涉及的应用十分广泛，例如生物科技、蓝宝石图形化PSS。一般通过电子束E-BEAM LITHOGRAPHY, 紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY 或NIL 刻蚀出硅模板，模板上可根据客户需求设计纳米图形。硅NIL模板可以以硅晶圆或切割成方块交货，还可再造出聚合物模片或镍掩膜。
规格：
规格
模板材料
硅材质
模板尺寸（晶圆形状）
2, 4, 6英寸
模板尺寸（方形）
从晶圆切割的任何方形格式
模板厚度
2mm
最小横向尺寸
20 nm
宽高比
最高1:10（取决于模式）
可定制
客户指定
设计文件格式
gds，dxf，tdb
防粘
FDTS（可选）
交货时间
通常为4周
NILT熔融石英模板 (FUSED SILICA NIL STAMPS)
熔石英模板因为透明度高所以用得最多应该是在UV 纳米压印UV NIL。
规格：
规格
模板材料
used silica (Quartz)
模板尺寸（晶圆形状）
2", 4", 6"
模板尺寸（方形）
Any format cut from wafers
模板厚度
1 mm (other upon request)
最小横向尺寸
20 nm
长宽比
Up to 1:5 (pattern dependent)
设计
Customer specified
设计档案格式
gds, dxf, tdb
防粘
FDTS (optional)
交货时间
Typically 4 weeks
NILT镍模片 (NICKEL SHIM)
NILT可以从硅晶圆、聚合物或石英材质的模板中复制出镍片。镍掩膜的形状为四方或长方形，尺寸可达600mm X 60mm. 镍模片在纳米压印技术上应用甚广，包括光电相关的如增光膜、抗反射膜，在医学领域和实验室晶片LAB-ON-A-CHIP。
规格：
规格
模片材料
Nickel
硬度
Different alloys are available
模片尺寸
2", 4", and square up to 600 mm x 600 mm
模片厚度
100 um — 2 mm
最小横向尺寸
100 nm
长宽比
Up to 1:3 (pattern dependent)
设计
Customer specified
设计档案格式
gds, dxf, tdb
防粘
FDTS (optional)
交货时间
Typically 4-6 weeks
聚合物母模 (POLYMER NIL STAMPS)
NILT同样不会对图形设计作出任何限制。聚合物可以从石英或硅晶圆复制出来，一般交货时都以硅晶圆片托底。
聚合物模板的应用很广，包括折射膜、线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM。
规格：
规格
模板ID
SMSS_SIQZ_V1
模板尺寸
20 mm x 20 mm
模板材料
Silicon or Fused Silica
模板厚度
1 mm
结构尺寸
500 nm - µm
蚀刻深度
1 µm or 2 µm in Silicon. 500 nm in Fused Silica
图案字段大小
5 mm x 5 mm
交货时间
3-4 weeks
PDMS 母模 (PDMS NIL STAMPS)
PDMS的母模制造通常会用电子束E-BEAM LITHOGRAPHY，NIL蚀刻或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY，可按客户需求设计纳米图形。 PDMS模片可以从石英或硅晶圆复制出来，一般交货时都以硅晶圆片托底。可应用于MICROFLUIDICS & LOC SHIMS 微流控器&实验室晶片，微流控器&实验室晶片。
规格：
规格
模板材料
PDMS
模板尺寸（晶圆形状）
Up to 6 inch round
模板厚度
1 mm (other upon request)
最小横向尺寸
20 nm
长宽比
Up to 1:3 (pattern dependent)
设计
Customer specified
设计档案格式
gds, dxf, tdb
防粘
FDTS (optional)
交货时间
Typically 4 weeks